日本气体公司重大宣布！这种电子特气实现商业化

据日媒4月9日消息，日本组合化学工业株式会社成功实现了用于尖端半导体存储器领域的高纯度COS气体的商品化，并将从2025年度开始销售。公司将以此为契机，拓展包括尖端半导体存储器在内的新事业领域，并将继续挑战新化合物的发现和材料的开发。

该公司自2017年与井原化学工业合并以来，一直致力于开发新产品，使化学产品业务成为继主营农化业务之后的第二大业务支柱。组合化学工业在开发过程中注意到其农用化学品中间体硫化羰（COS）在半导体存储器（3D NAND）制造中用作蚀刻气体，并于2019年开始开发COS气体。

为了将COS气体用于半导体级，必须提高其纯度，使其成为“高纯度COS气体”，因此我们将于2021年在静冈工厂建设一座新的COS纯化工厂。近期，该公司通过优化COS精炼工厂的生产方式，成功实现了半导体级高纯度COS气体的商业化，并将于2025财年开始全面销售。

组合化学工业计划以高纯度COS气体的销售为跳板，拓展新的事业领域，其中包括尖端的半导体存储器领域。