• 2019年9月19日-20日
    杭州国际博览中心
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特种气体——高大上的电子气体
[导语]我国特种气体市场起步较晚,所以在技术领域较国外巨头企业有一定的差距,也正是因为如此特种气体市场长期被外企所垄断。但近年来国内电子气体奋起直追,表现格外抢眼。

     伴随着国民经济的发展,特别是21世纪后我国电子行业的突飞猛进,国内特种气体公司意识到了专有技术的重要性。我国在特种气体生产、储存等领域上取得了重要突破,特别是电子特气目前基本实现了国产化,基本打破了国外企业的垄断。
                                  电子气体分类

应用领域 工艺 产品
IC集成电路及光纤 清洗和蚀刻用气 C2F6、C3F8、C4F8、CHF3、SF6、CL2、HCL、CF4等
成膜气体 SIH4、SI2H6、SIHCL3、SIH2CL2、CH4、C3H6
掺杂及离子注入气体 ASH3、PH3、B2H6、GEH4
外延片及LED LED外延片 超高纯NH3、三甲基镓、ASH3、PH3、H2
芯片段 CL2、BCL3、SF6、N2O
蓝宝石及PSS BCL3
太阳能电池 单、多晶硅生产 SiH4、CF4、NH3、高纯CO2
薄膜太阳能电池 SIH4、TMB、GEH4、DEZ、CH4、PH3
铜铟镓硒太阳能电池 H2SE、SO2
LCD及AMOLED SIH4、N2O、NF3、SF6、CL2、CO2、PH3+H2、HCL+H2+NE、BF3、NH3

    近年来我国微电子、光电子等电子信息产业高速发展,促使这一块所需使用气体的飞速发展。由于微电子、光电子产业对气体的使用要求极高,所以我们特将这个领域所使用的特种气体叫电子特气。电子特气的使用行业主要有太阳能电池片、半导体发光二极管(LED)、液晶面板、光纤、IC、半导体分立器件、线路板等高精尖行业。

    随着我国工业的发展和改革开放的不断深入,主要跨国气体公司都纷纷进入中国,美国空气化工、法国液化空气、德国林德、普莱克斯、日本大阳日酸、日商岩谷气体公司等已占领我国部分特气市场,尤其是电子气体市场, 合资和独资的半导体集成电路企业生产工艺中所使用的电子气体被这些国外气体公司所垄断,这与半导体集成电路对气体质量、供应的特殊要求有关。

    但我国电子气体行业在2006年后进入快速发展阶段。特别是在2010年以后,国内电子气体市场不断攻破国外的技术垄断,硅烷、超纯氨等等重要特种气体进入国产化时代,我国电子气体依赖进口的局面也在被迅速打破。目前国内电子气体市场潜力巨大,半导体、光伏等行业的发展保证了电子气体的旺盛需求,国内厂家也在不断加大电子气体的研发投入,可以料想的是国内电子气体市场的发展将无可限量,同时也将是工业气体市场良好的增长点。